日本小山–(BUSINESS WIRE)–(美国商业资讯)– 为尖端半导体制造工艺提供光源的制造商Gigaphoton Inc.（总部：栃木县小山市；总裁兼首席执行官：Tatsuo Enami）今日宣布，已于2026年9月25日将用于脉冲激光沉积(PLD)的L300KZ KrF准分子激光器安装至日本国内一家高温超导带材制造商。该激光器是在日本内阁府主管的“登月型”研发计划目标10下开发的，目前已针对高温超导带材的批量生产启动评估。 Gigaphoton是“登月型”计划目标10研发项目“实现多种创新聚变反应堆概念的基础超导技术”（资助编号：JPMJMS24A2）的参与机构之一。该项目旨在建立高性能稀土钡铜氧(*REBCO)带材的高质量、低成本量产技术，这种线材是聚变反应堆用超导磁体的重要组成材料。在该项目中，Gigaphoton负责开发用于PLD工艺的准分子激光器。为本次评估安装的L300KZ是一款用于高温超导材料PLD薄膜沉积的高脉冲能量激光器，其开发应用了Gigaphoton在半导体光刻用准分子激光器领域积累的技术。 在PLD工艺所使用的光源中，准分子激光器具有高脉冲能量，被广